在5nm、6nm工艺大规模投产、第二代5nm工艺即将投产的情况下，芯片代工商台积电对极紫外光刻机的需求也明显增加。而外媒最新援引产业链消息人士的透露报道称，台积电已向阿斯麦下达了2021的极紫外光刻机订单，至少有13台。

阿斯麦是目前全球唯一一家能供应极紫外光刻机的厂商，台积电、三星等厂商所需要的极紫外光刻机，也全部由阿斯麦供应。

从近两年阿斯麦极紫外光刻机的交付量来看，台积电下达的2021年的订单，需要近半年才能完成。

2019年，阿斯麦是共向客户交付26台极紫外光刻机，13台就是半年的交付量。今年上半年，阿斯麦极紫外光刻机出货13台，但完成安装测试能确定的收入的只有9台。

不过，阿斯麦极紫外光刻机的出货量也在提升，在今年三季度就达到了10台，算上此前已出货但未确定收入的，三季度确定收入的极紫外光刻机共有14台。

从阿斯麦在近几个季度的财报中披露的消息来看，他们新接到的极紫外光刻机，单台的订单价格在1.5亿欧元左右，台积电预订的2021年的至少13台，也就意味着将花费约19.5亿欧元。